真空清洗干燥機利用液體在真空狀態下的物理變化，改變了碳氫清洗劑和被清洗物的某些特性，從而趨利避害，使碳氫清洗劑的優勢得到更好的發揮。
       為提高清洗效果，清洗機中一般都采用超聲波技術，利用超聲波振子每秒幾萬次頻率的振動，發出超過人耳可聽見的萬們以上的聲壓。在清洗的情況下超聲波在液體中呈放射狀，使清洗液體流動而產生大量的真空氣泡，這種現象就是空穴作用，由這種空穴作用而產生的液體流動和數以萬計的高壓真空氣泡瞬間爆破時產生的能量，不斷地沖擊被子清洗物表面，使表面及縫隙中的污垢迅速剝落。
       但在常壓狀態下，清洗劑中溶解的空氣粒子遇到超聲波時產生氣泡，超聲波的空穴作用會被大幅度衰減，清洗效果被減弱。在真空狀態下，清洗劑中的氣體會被脫出，從而避免了超聲波的衰減。這一效果可以從鋁箔實驗中得驗證：在清洗槽中分別加入未經真空脫氣和經過真空脫氣的碳氫清洗劑，使用相同功率的超聲波對鋁箔清洗一分鐘，結果未經脫氣的清洗劑可見輕微的震動，鋁箔基本上無變化。而經過真空脫氣的清洗劑劇烈震動，鋁箔很快出現許多孔洞。

在傳統的清洗中，清洗效果不理想常常是因為盲孔、粗糙表面和細小縫隙中的空氣不能排出，影響清洗劑的浸潤，產生清洗盲孔。應用真空技術后，可使部件表面、縫隙和盲孔內的空氣全部排出，使清洗劑完全浸入工件的每個部位，使工件的各人部位都達到最好的清洗效果。對于構造復雜、盲孔較深的工件，通過兩次以上的抽真空和排氣過程，也可以將空氣全部排出。所以在真空狀態下，清洗效果要比常壓下更好。

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